Nákvæmni rafeinda- og ljóssmásjáa er mismunandi eftir gerð og hönnun, sem hér segir:
Nákvæmni rafeindasmásjár
Rafeindasmásjárskoðun (TEM): Eins og er hefur nákvæmni rafeindasmásjárskoðunar náð að greina byggingar undir 0,2 μm og pólmörkin geta náð 0,1 nm. Til dæmis hafa sumir góðir rafeindasmásjár upplausn frá 1,5 til 2A (1A = 0,1 nm), sem getur greint nánast öll atóm.
Skannandi rafeindasmásjá (SEM): Venjulega næst rúmfræðileg upplausn upp á 1μm³, þó að nákvæmni geti verið mismunandi eftir gerð búnaðar og skoðunarskilyrðum.
Nákvæmni ljóssmásjár
Almenn ljósasmásjá: Upplausn hennar er yfirleitt um 250 nm, sem er milljón sinnum hærri en upplausn mannsaugans (0,25 mm). Hins vegar er hægt að bæta upplausn og stækkun ljósasmásjár verulega með því að nota nákvæmar linsur og ljósfræðilegar aðferðir.
Nákvæm ljósasmásjá: eins og stafræn ljósasmásjá, getur upplausnin náð 0,1 μm og stækkunin er allt að 5000 sinnum. Að auki eru til nákvæm greiningartæki sem byggja á meginreglunni um hvítt ljóstruflun, svo sem þrívíddar ljósasmásjá, sem geta náð yfirborðsmælingum með subnanómetra upplausn.
Sérstök ljósfræðileg smásjárskoðun: eins og ljósfræðileg nanóskoðun með 2nm staðsetningarnákvæmni, svo sem MINFLUX tækni, sem markar að nanóupplausnarsmásjárskoðun hefur opinberlega komið inn á sviði lífvísindarannsókna.
Birtingartími: 1. nóvember 2025